
Новый метод улавливания звуковых волн и света на чипе в крупномасштабных схемах
Исследовательская группа из Университета Твенте использовала многослойные нанофотонные схемы из нитрида кремния (Si3N4) с низкими потерями для ограничения как оптических, так и акустических волн. Эти схемы состоят из спиральных волноводов длиной 50 см. Эта установка улавливает звуковую волну и предотвращает акустическую утечку, возникающую при использовании одного сердечника из нитрида кремния.